气体质量流量控制器的自我诊断技术

1. 自我诊断技术

自我诊断技术是在不停机或基本不拆机的情况下，通过各种检测分析来判断设备状态是否正常，异常或故障的原因、部位、程度以及寿命的预测。

自我诊断技术的主要作用是获得设备的结果状态信息，即根据设备在各种工况下，表现出来的精度超差，零点漂移，内漏等所有状态信息的综合分析来识别产品的状态、异常类型和异常的严重程度，其本质是一个包含信号采集、信息提取、信息综合、故障识别和信息利用的过程。自我诊断的目标是确保产品在功能、精度、效率和可靠性方面均能稳定运行。

图1 自我诊断的目标

2. 自我诊断技术在气体质量流量控制器中的应用

半导体设备对气体质量流量控制器的要求最重要的一点就是高精度，传统的气体质量流量控制器在使用一段时间后，由于环境温度、气体污染等原因，有可能出现精度超差的现象，但由于检测条件的限制，用户无法对气体质量流量控制器的精度进行检验。因此需要研究一种自我诊断技术，通过该技术，用户可以随时对气体质量流量控制器的精度进行检验。

增加气体质量流量控制器的自我诊断功能，需要通过初级流量测量原理获得流量。若Qm为气体的质量流量，可以根据压力、温度与气体流量变化方程建立压力随时间的变化曲线,如图2所示：

图2 压力随时间的变化曲线

通过该图可以建立气体质量流量控制器的精度对应表，进行自我诊断过程中，与该表格信息进行对比，可通过两条曲线的相似度判定，系统的精度是否在要求范围内。自我诊断技术大大提高了气体质量流量控制系统的可靠性，完善了系统功能。

3 自我诊断技术优势

采用自我诊断技术的智能分析，质量流量控制器能够做出智能化的检测，对该设备可能出现的故障进行预测，在预测的基础之上，自动予以消除或者做出报警反映，这一过程对于产品本身使用中的维护而言，能够取得更好的经济效益，不但工作人员的工作量可以得到有效的降低，自诊结果也能够得到很全面地提供，维护人员还可以对应的进行更加完善、有效的维护方案制定，维修保养地开展和实施就会更加的理