MEMS热式MFC的优点

响应速度快：传感器响应速度快，能够迅速适应流量变化

机构简单、压损小：传感器结构简单，压损小，适合在各种应用中使用

量程范围宽：适用于广泛的流量范围，能够测量从极小到较大的气体流量

高灵敏度和高精度：热式MEMS气体传感器能够精确测量气体的质量流量，具有较高的灵敏度和精度，适用于多种应用场景。