气体质量流量控制器（MFC）

气体质量流量控制器（MFC）是对气体进行流速测量和控制的一种设备。

主要技术指标

• 出厂通常用氮气标定
• SCCM（标准毫升/分） SLM（标准升/分）
• F.S（Full Scale）满量程值
• SLPM（标准升/分）

显示数据类型

包括但不限于以下数据：
• 瞬时流量
• 累计流量
• 流量系数（系数的更改可以使国产流量计的精度，接近进口流量计的精度）
• 流量零点设置
• 温度

注意事项
• 如果气体不干净，有粉尘、液体和油污时，记得加装过滤器
• 安装时最好保持安装面水平
• 气体标定默认是安装氮气进行标定的