气体质量流量控制器(MFC)是对气体进行流速测量和控制的一种设备。
主要技术指标
• 出厂通常用氮气标定
• SCCM(标准毫升/分) SLM(标准升/分)
• F.S(Full Scale)满量程值
• SLPM(标准升/分)
显示数据类型
包括但不限于以下数据:
• 瞬时流量
• 累计流量
• 流量系数(系数的更改可以使国产流量计的精度,接近进口流量计的精度)
• 流量零点设置
• 温度
注意事项
• 如果气体不干净,有粉尘、液体和油污时,记得加装过滤器
• 安装时最好保持安装面水平
• 气体标定默认是安装氮气进行标定的