气体质量流量计RD FS FP区别

气体质量流量计中的RD、FS、SP分别代表读数精度（Reading）、满量程精度（Full Scale）和设定值精度（Set Point）。‌

RD（读数精度）

读数精度（RD）指的是流量计实际示值的误差范围。具体来说，读数精度表示流量计测量值的误差范围，通常以百分比形式表示。例如，±1%RD精度的流量计，其测量误差范围为±1%乘以测量值‌。

FS（满量程精度）

满量程精度（FS）指的是流量计在满量程时的误差范围。满量程精度表示流量计在达到最大测量值时的误差范围，同样以百分比形式表示。例如，±1%FS精度的流量计，其误差范围为±1%乘以满量程值‌。

SP（设定值精度）

设定值精度（SP）指的是控制器在设定流量时的误差范围。设定值精度主要用于表达控制器产品的控制误差范围，表示控制器在设定流量时的误差范围，同样以百分比形式表示。例如，±1%SP精度的控制器，其控制误差范围为±1%乘以设定流量值‌。

实际应用中的差异

在实际应用中，读数精度（RD）和设定值精度（SP）通常用于表达流量计和控制器的精度，而满量程精度（FS）则同时适用于流量计和控制器。具体来说：

• ‌读数精度（RD）‌：主要表述流量计的测量误差范围。例如，一台满量程为1000SCCM的流量计，如果其读数精度为±1%RD，则在测量500SCCM时，测量误差范围为±5SCCM‌2。
• ‌设定值精度（SP）‌：主要表述控制器的控制误差范围。例如，一台满量程为1000SCCM的质量流量控制器，如果其设定值精度为±1%SP，则在设定500SCCM流量时，控制误差范围为±5SCCM‌2。
• ‌满量程精度（FS）‌：既可以表述流量计的测量误差范围，也可以表述控制器的控制误差范围。例如，一台满量程为1000SCCM的流量计/控制器，如果其满量程精度为±1%FS，则在测量/设定500SCCM时，测量/控制误差范围为±10SCCM‌2。

综上所述，RD、FS、SP在气体质量流量计中分别代表不同的精度指标，分别用于表述流量计的读数精度、满量程精度和设定值精度。